請問各位做半導体的先進 薄膜製程中，量測厚度的儀器 一般測厚儀 ，是用X-ray 和α step是嗎? 金屬(Ni/Cu...)和非金屬(SiO2、光阻)用的量測儀器有不同嗎? 國內有那些推薦的廠商? 謝謝幫忙告之! -- ※ 發信站: 批踢踢實業坊(ptt.org.tw), 來自: 111.250.83.172 (臺灣) ※ 文章網址: https://ptt.org.tw/Tech_Job/M.1704607660.A.3CA

推 neil0611 : KLA… 01/07 14:09

→ ijk1 : 作業自己做 01/07 14:41

推 hmtsung : J.A.Woollam 01/07 14:46

→ say33520 : 能力好的，用文具店15公分就太夠了。 01/07 14:55

→ crayon56 : 我都用厚薄規 一層一層去比出膜厚 01/07 14:56

推 Quaranta: 有錢人一堆包養好嗎 01/07 14:56

推 Saynai : 橢偏儀廠商… 01/07 14:58

→ n00bmaster : 我都拿游標卡尺量 01/07 15:13

推 matsuzuki18 : 橢圓偏振儀 自己功課自己做 01/07 15:15

推 ehuman : 金屬:階差量測, 光阻:膜厚量測儀器 01/07 15:35

推 kyle5241 : XRR問題就是速度慢，雖然最準確。一般都是橢圓儀加 01/07 15:44

推 schlemm: 學生妹被包養多嗎 01/07 15:44

→ kyle5241 : 上機器學習，沒機器學習基本上你也只是拿到一堆光 01/07 15:44

→ kyle5241 : 譜不知道要幹嘛而已 01/07 15:44

→ cyteric : Semilab 01/07 15:47

推 ssmmll : XRR可以量金屬，解決可見光穿透深度的問題。橢圓儀 01/07 17:27

→ ssmmll : 可以測厚，也可以量Profile不一定要用machine lear 01/07 17:27

推 Wirol: 有錢人為啥都想包養 01/07 17:27

→ ssmmll : ning，RCWA計算在很多地方還是很好使用的。XRF XPS 01/07 17:27

→ ssmmll : METAPULSE 各有適合的應用，甚至電性厚度的量測都 01/07 17:27

→ ssmmll : 有，看人會不會用。 01/07 17:27

推 ssmmll : 能夠照著儀器的特性去解決使用者的需求，才是最重 01/07 17:29

→ ssmmll : 要的 01/07 17:29

推 marecht: 有錢人為啥都想包養 01/07 17:29

→ wzmildf : 老經驗的製程調機都用舔的 01/07 17:31

→ binco : 我都叫廠商幫量 01/07 18:27

推 Aixtron : 橢偏是高度技術活，除非有人已經幫您弄好recipe了！ 01/07 19:35

→ Aixtron : 不計成本TEM和FIB也可以用啊 XD 01/07 19:37

→ Aixtron : 有些用AFM也可以 01/07 19:38

推 riokio: 亞洲最大包養網上線啦 01/07 19:38

→ douge : 橢偏儀了解原理不就簡單到不行嗎-.-a 01/07 20:08

→ douge : 不就簡單的條紋 了解需要一個小時嗎? 01/07 20:09

推 ssmmll : 膜厚妥偏原理還好，但是根據tune dispersion和實際 01/07 20:13

→ ssmmll : 應用也是需要考慮，包含Test pad設計。模擬軟體如 01/07 20:13

→ ssmmll : 果主管願意，廠商也會教一些基本功，可以靠著大量 01/07 20:13

推 wiimas: 我哥上包養網被我抓包.. 01/07 20:13

→ ssmmll : 實戰獲得經驗，1D-3D都是。AFM局限性在於表面，速 01/07 20:13

→ ssmmll : 度，耗材，但是粗糙度和底層有光學需要decouple的 01/07 20:13

→ ssmmll : 應用則是強項。現在有in-line dFIB但是容易有defec 01/07 20:13

→ ssmmll : t需要考驗test pad設計。 01/07 20:13

推 a865201233 : 我都用目測的 01/07 20:55

推 Branlli: 有人包養過洋鬼子嗎 01/07 20:55

→ chengzai : 桌上J.A.Woollam，in line SEMILAB 01/07 22:57

推 kyle5241 : blanket wafer 和立體結構的確不一樣啦～ 平面的確 01/08 06:33

→ kyle5241 : 看顏色就行 01/08 06:33

推 jyeabcb : 魯道夫 01/08 09:50

推 Aixtron : 橢偏有recipe就真的掃掃完事，全新材料有時不見得這 01/08 11:32

推 Cinedt: 有錢人為啥都想包養 01/08 11:32

→ Aixtron : 麽容易！ 01/08 11:33

推 Aixtron : 更不用說SOI上有多層膜，不曉得簡單在那裏？ 01/08 11:37

→ Aixtron : 不過原理加大量實戰是沒錯的！ 01/08 11:38

推 jim8596 : 菲希爾 01/08 12:17

→ jim8596 : 比較麻煩的是標準片的控管 很容易破又要常常跟原廠 01/08 12:18

推 Drither: 有人被洋鬼子包養過嗎 01/08 12:18

→ jim8596 : 買 01/08 12:18

推 ssmmll : dispersion 不容忽視阿 01/08 12:42

噓 tornado1621 : 半導本是什麼 01/09 08:02

→ bocang : https://www.youtube.com/watch?v=Hod4igTEf30 01/09 14:06

→ bocang : 曲博之前有跟ITRI的專訪有介紹 01/09 14:07

推 Notker: 到底要多有錢才會想包養 01/09 14:07

噓 N4urose : 作業自己寫，什麼是半導本？ 01/09 14:21